ENTEGRIS應(yīng)特格公司成立于1966年，總部設(shè)在美國馬薩諸塞州拜勒瑞卡，在美國、日本和馬業(yè)西亞等國家設(shè)有生產(chǎn)基地，在全球十一個國家設(shè)有銷售和服務(wù)中心。

　　應(yīng)特格公司主要服務(wù)于半導(dǎo)體制造業(yè)，是一家材料整合管理公司。作為全球材料整合管理界的先行者，應(yīng)特格為半導(dǎo)體制造提供包括純化過濾、流體傳送、芯片及其他關(guān)鍵材料的保護(hù)和傳送等方面的產(chǎn)品及服務(wù)。應(yīng)特格公司以其高性能的產(chǎn)品及技術(shù)成為世界半導(dǎo)體廠商、設(shè)備制造商及材料供應(yīng)商長期合作伙伴。

　　應(yīng)特格公司憑借著在材料科學(xué)及分子污染控制領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢，幫助客戶提高技術(shù)水平及產(chǎn)品成品率，包括半導(dǎo)體制造工藝中的光刻、濕法蝕刻、化學(xué)機(jī)械研磨、化學(xué)氣相沉積、晶片處理與貯運(yùn)、測試及封裝等。

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Entegris應(yīng)特格 WGMXMSRR2 氣體過濾器

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Wafergard? MAX 內(nèi)聯(lián)式?PTFE 氣體過濾器

這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。

PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低壓差應(yīng)用而設(shè)計?
適用于惰性氣體和活性氣體，包括臭氧?
預(yù)處理以快速啟動（僅限銀色）?

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Wafergard? MAX 內(nèi)聯(lián)式?PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體兼容
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容

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材料?? ?濾芯?? ?由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水性 PTFE 膜
??? ?住房?? ?電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度?? ?粒子?? ?小于 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/立方英尺)大于 0.01 微米
??? ?揮發(fā)物（銀）?? ?<10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（最低檢測限為 5 ppb）
移除評級?? ?≥0.0015微米
內(nèi)部表面處理?? ?WGMX（青銅）MB XXXX?? ?≤20μin Ra
??? ?WGMX（銀/銅加）MS XXX/XXX?? ?≤7μin Ra
氦氣泄漏等級?? ?合格的?? ?2 x 10 -10大氣壓-立方厘米/秒
??? ?已測試?? ?1 x 10 -9大氣壓-立方厘米/秒
工作條件
??? ?最大入口壓力
??? ?銀和青銅以及 1?4" 和 1?2" VCR ?兼容配件：7.0 MPa（70 bar，1015 psig）
??? ? ?? ?青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容配件：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
??? ? ?? ?青銅和青銅加 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok ?兼容接頭：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
??? ?最大正向壓差?? ?7 巴 (102 psid)
??? ?最大反向壓差?? ?2.5 巴（36 磅/平方英寸）
??? ?最高工作溫度?? ?120°C（248°F）
流量等級?? ?參考性能數(shù)據(jù)
保修單?? ?青銅?? ?1 年
??? ?銀?? ?3 年
顆粒保留?? ?去除所有顆粒的效率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的顆粒大小為參考）

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WGPM0GGT4
WGMXMSRR4
WGMXMSRR2
WG3NSMSL2
WG3NSMSL2
WG3NSMSL2
CBUGOSOS1
WG3NS8RR2
WGMXMPRR4
WGMXMPSS3
WG2F02RR4
WGFGT1PR1
WGPMOGGT2
WGPMOGGT2
WGPMOGGT2
WGPMOGGT2
WGPMOGGT2
WGFGMBRR4
WGFGMBRR4
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PR1
WGFGT1PR1
WGFGT1PR1
WGPMOGGT4
WGPMOGGG2
WGPMOGGG2
WG3NS6RR2
WG3NS2RR4