英特格ENTEGRIS，WG2F40RR3，Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器
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?這些氣體過濾器推薦用于惰性和反應(yīng)性氣體，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和柜中。?
PTFE 膜提供高效過濾
低壓降降低了較低蒸氣壓氣體的冷凝風(fēng)險(xiǎn)
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
適用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
應(yīng)用領(lǐng)域
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器應(yīng)用
生命科學(xué)應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
煤氣柜和面板
超純氣體系統(tǒng)
內(nèi)部處理工具
產(chǎn)品規(guī)格
材料
? 濾芯
? 由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電解拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度 ?小于 0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3）大于 0.01 μm?
揮發(fā)物 <10 ppb 水分
去除等級(jí) ≥0.0015微米
內(nèi)部表面處理 ≤7 μin Ra
氦氣泄漏等級(jí) 合格的 2×10 -10立方厘米/秒
已測(cè)試 1×10 -9立方厘米/秒
使用條件 最大入口壓力 207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大前向壓差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
?
最大反向壓差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
?
最高工作溫度 120°C (248°F)
顆粒保留
? 在 30 slpm 下去除所有顆粒的率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的顆粒尺寸為準(zhǔn)）
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
零件編號(hào)
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器零件號(hào)
零件編號(hào) 配件尺寸和類型 長(zhǎng)度 應(yīng)用
WG2FT1BW2 1/4" 對(duì)焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RF2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內(nèi)螺紋出口 88.9 毫米（3.50 英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科學(xué)
WG2FT1SS2 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半導(dǎo)體
ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR2
ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGT2
ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 過濾器 WG2F02RR2
Entegris 過濾器 WG3D40DR2
Entegris 過濾器 WG3D40DR2
ENTEGRIS WGMXMPRR2
Entegris 過濾器 WGFG21KP0
ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGG2
ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 過濾器 WGMXMBSS2
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS 過濾器 WGMXMSRR4
Entegris 過濾器 WG2FT1RR2
ENTEGRIS 濾芯 WGFG01DS0
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGT2
ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGT2
ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGT4
Entegris 過濾器 WG3NS6RR2
ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS 過濾器 WG3NS2RR4
Entegris 過濾器 WG2FT1SS2
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2
Entegris 過濾器 WG2FT1RR2
entegris 濾芯 CTFG01TPE
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT4
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG ?WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 過濾器 WG3NS8RR2
ENTEGRIS 過濾器 CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS 過濾器 WG3NSMSL2
ENTEGRIS 過濾器 WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2
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