?

美國 Entegris 應特格 工業(yè)級氣體純化器GPUS100FHX04R00CA

?

GPUS100FHX04R00CA 是由 Entegris (英特格) 生產(chǎn)的 GateKeeper? GPU 系列 常溫氣體純化器。該產(chǎn)品專為半導體、LED及平板顯示制造等超高純度氣體需求場景設計。?
產(chǎn)品核心規(guī)格
型號解析：
GPU 100： 代表該產(chǎn)品的流量規(guī)格及外殼尺寸。
HX： 代表所使用的 HX 純化介質(zhì)。這種介質(zhì)通常用于純化 H2 (氫氣)、N2 (氮氣)、Ar (氬氣)、He (氦氣) 或其他惰性氣體。
04R： 通常指代接口尺寸為 1/4" VCR 接口。
純化能力： 可將氣體中的雜質(zhì)（如 H2O、O2、CO、CO2 等）降低至 <100 pptV (萬億分之一) 級別。
過濾精度： 配備集成的 Wafergard? 金屬膜過濾器，過濾精度通?？蛇_ 0.0015 μm，有效去除超細微粒。?
主要技術特點
常溫純化： 采用環(huán)境溫度純化技術，無需電力或加熱，降低了運行成本并提高了安全性。
高性能過濾： 采用 316L 不銹鋼外殼，具備極低的壓降和優(yōu)異的密封性（漏率 < 1 x 10?? atm cc/sec）。
超長壽命： 在額定流量和標準雜質(zhì)濃度下，設計壽命通常為一年，且該系列部分型號支持工廠再生（Regenerable）。?
應用場景
該純化器通常安裝在工藝設備的 使用點 (POU)，用于以下工藝：
光刻 (Photolithography)
外延生長 (Epitaxy)
干法刻蝕 (Dry Etch)
薄膜沉積 (Deposition)?

?

GPUS100FHX04R00CA
GPUS100FHX04R01CA
GPUS100FHX04R02CA
GPUS100FHX08R00CA
GPUS100FHX08R01CA
GPUS100FIX04R00CA
GPUS100FIX04R01CA
GPUS100FIX08R00CA
GPUS100FNX04R00CA
GPUS100FNX08R00CA
GPUS100FQX04R00CA
GPUS100FQX08R00CA
GPUS200FHX04R00CA
GPUS200FHX08R00CA
GPUS200FIX04R00CA
GPUS200FIX08R00CA
GPUS200FNX04R00CA
GPUS200FNX08R00CA
GPUS400FHX04R00CA
GPUS400FHX08R00CA
GPUS400FIX04R00CA
GPUS400FIX08R00CA
GPUS400FNX04R00CA
GPUS400FNX08R00CA
GPUM100FHX04R00CA
GPUM100FIX04R00CA
GPUM200FHX08R00CA
GPUM200FIX08R00CA
GPUM400FNX08R00CA
GPUS100FHX04R00
GPUS100FIX04R00
GPUS100FNX04R00
GPUS100FQX04R00
GPUS200FHX04R00
GPUS200FIX04R00
GPUS200FNX04R00
GPUS400FHX04R00
GPUS400FIX04R00
GPUS400FNX04R00
GPUS100FHX08R00
GPUS100FIX08R00
GPUS100FNX08R00
GPUS200FHX08R00
GPUS200FIX08R00
GPUS200FNX08R00
GPUS400FHX08R00
GPUS400FIX08R00
GPUS400FNX08R00
GPUS100FHX04R
GPUS100FIX04R
GPUS100FNX04R
GPUS100FQX04R
GPUS200FHX04R
GPUS200FIX04R
GPUS200FNX04R
GPUS400FHX04R
GPUS400FIX04R
GPUS400FNX04R
GPUS100FHX08R
GPUS100FIX08R
GPUS100FNX08R
GPUS200FHX08R
GPUS200FIX08R
GPUS200FNX08R
GPUS400FHX08R
GPUS400FIX08R
GPUS400FNX08R
GPUS500FHX04R00CA
GPUS500FHX08R00CA
GPUS500FIX04R00CA
GPUS500FIX08R00CA
GPUS500FNX04R00CA
GPUS500FNX08R00CA
GPUS1000FHX08R00CA
GPUS1000FIX08R00CA
GPUS1000FNX08R00CA
GPUS35FHX04R00CA
GPUS35FIX04R00CA
GPUS35FNX04R00CA
GPUS35FQX04R00CA
GPUS60FHX04R00CA
GPUS60FIX04R00CA
GPUS60FNX04R00CA
GPUS100FHX04N00CA
GPUS100FIX04N00CA
GPUS200FHX04N00CA
GPUS400FHX08N00CA
GPUS100FHX02R00CA
GPUS100FIX02R00CA
GPUS200FHX12R00CA
GPUS400FIX12R00CA
GPUS100FHX04V00CA
GPUS100FIX04V00CA
GPUS200FNX04V00CA
GPUS100FHX04R00CN
GPUS100FIX04R00CN
GPUS200FHX04R00CN
GPUS400FIX04R00CN
GPUS100FHX04R00MA
GPUS100FIX04R00MA