品牌/系列：Entegris / Wafergard? SL
接口類型：1.125" C-Seal 表面貼裝接口
過濾介質：全金屬燒結鎳（Nickel）或不銹鋼（Stainless Steel）薄膜
顆粒截留率：>99.9999999% @ 0.003 μm
最大入口壓力：34.5 bar (500 psig) @ 20°C
最大工作溫度：惰性氣體環境下最高可達 400°C (752°F)
氦氣泄漏率：經測試最大為 1 x 10?? Pa·m3/sec
重量信息：單體約 0.4-0.6 kg（含包裝，依批次略有差異）
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行業背景與核心定位
在半導體制造、平板顯示和光伏產業中，制程氣體的純度直接決定了晶圓的良率。Entegris WGSLSFC1H 作為 Wafergard? SL 系列的核心型號，專為超高純（UHP）氣體分配系統設計。它采用表面貼裝（Surface Mount）設計，符合 1.125" C-Seal 工業標準，這種緊湊化的結構相比傳統的管路連接（In-line）能顯著減少氣體面板的占用空間，簡化了系統集成難度。
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卓越性能與技術參數解析
極端過濾效率：該產品能在極高的流量下保持對 0.003 微米顆粒的極致攔截。在納米級制程中，即便是一個微小的金屬顆粒也會造成電路短路，而 WGSLSFC1H 提供的 99.9999999%（9個9）過濾保障，是行業公認的最高安全等級。
材質兼容性與抗腐蝕性：其濾芯采用專利燒結技術，提供鎳質或 316L 不銹鋼材質選項。這使得過濾器在處理高腐蝕性氣體（如 HCl、Cl?）或高活性氫化物氣體時，具有極佳的化學穩定性，避免了二次污染。
超凈制造工藝：所有過濾器均在百級無塵室中進行組裝、測試并使用雙層真空包裝。出廠前經過嚴格的脫氣處理和烘烤，確保在安裝后能迅速達到系統真空度要求，縮短初次啟動時間。
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1.125" C-Seal/W-Seal 表面貼裝系列：
WGSLSFC1H, WGSLSFC1M, WGSLSFCSM, WGSLSFCPH, WGSLSFCN1, WGSLSFCN2, WGSLNFC1H, WGSLNFC1M, WGSLNFCSM, WGSLNFCPH, WGSLNFCN1, WGSLSFW1H, WGSLSFW1M, WGSLSFWPH, WGSLNFW1H, WGSLNFW1M, WGSLNFWPH, WGSLSFC1K, WGSLSFC2H, WGSLSFC2M, WGSLSFC3H, WGSLSFC4H, WGSLNFC2H, WGSLNFC3H, WGSLSFW2H, WGSLSFW3H, WGSLNFW2H, WGSLNFW3H, WGSLSFC5H, WGSLSFC6H, WGSLNFC5H, WGSLSFW5H, WGSLNFW5H... (共50個)
In-Line 管路式高純系列：
WGMFS6RR1, WGMFS6VV1, WGMFS4RR1, WGMFS4VV1, WGMFN6RR1, WGMFN6VV1, WGMFN4RR1, WGMFN4VV1, WGNFS6RR1, WGNFS6VV1, WGNFS4RR1, WGNFS4VV1, WGNFN6RR1, WGNFN6VV1, WGMINS4RR, WGMINS4VV, WGMINS6RR, WGMINN4RR, WGMINN4VV, WGMINN6RR, WGMAXS4RR, WGMAXS4VV, WGMAXS6RR, WGMAXN4RR, WGMAXN4VV, WGMAXN6RR, WGMAFS4RR, WGMAFS4VV, WGMAFS6RR, WGMAFN4RR, WGMAFN4VV, WGMAFN6RR... (共50個)?
PTFE 介質系列與微型系列：
WGPFS6RR1, WGPFS6VV1, WGPFS4RR1, WGPFS4VV1, WGMAXS4RR, WGMAXS4VV, WGMAXS6RR, WGMAXS6VV, WGMAXS8RR, WGMAXS8VV, WGSGFM1RR, WGSGFM1VV, WGSGFM2RR, WGSGFM2VV, WGSGFM4RR, WGSGFM4VV, WGSGFA1RR, WGSGFA1VV, WGSGFA2RR, WGSGFA2VV, WGSGFA4RR, WGSGFA4VV, WGSGFP1RR, WGSGFP1VV, WGSGFP2RR, WGSGFP2VV, WGSGFP4RR, WGSGFP4VV, WGSGFL1RR, WGSGFL1VV, WGSGFL2RR, WGSGFL2VV... (共50個)?
大流量及特殊接口系列：
WGLFS4RR1, WGLFS4VV1, WGLFS6RR1, WGLFS6VV1, WGLFN4RR1, WGLFN4VV1, WGLFN6RR1, WGLFN6VV1, WGXFS4RR1, WGXFS4VV1, WGXFS6RR1, WGXFS6VV1, WGXFN4RR1, WGXFN4VV1, WGXFN6RR1, WGXFN6VV1, WGZFS4RR1, WGZFS4VV1, WGZFS6RR1, WGZFS6VV1, WGZFN4RR1, WGZFN4VV1, WGZFN6RR1, WGZFN6VV1, WGVFS4RR1, WGVFS4VV1, WGVFN4RR1, WGVFN4VV1... (共50個)
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