品牌：Entegris（英特格）
系列：Chambergard (CE) 系列
完整型號：CE-500-KF-I-4-D
接口類型：KF25 (KF)
過濾精度：0.003 μm（納米級超高精度）
額定流量：500 SLPM（標準升/分鐘）
殼體材質：316L 不銹鋼（電解拋光）
濾芯材質：聚四氟乙烯 (PTFE) 或 鎳 (Nickel)
最高工作壓力：0.9 MPa
工作溫度：最高可達 120°C
泄漏率：1 x 10^-9 atm cc/sec?

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Entegris（英特格）CE-500-KF-I-4-D 屬于全球知名的 Chambergard 系列擴散器與過濾器組合，是專為半導體、平板顯示器以及光伏制造工藝設計的核心凈化組件。在晶圓加工環境及真空腔室工藝中，該產品扮演著攔截微小顆粒的關鍵角色，能有效防止顆粒污染對精密生產流程造成的負面影響。
卓越的凈化性能
該過濾器核心采用特種材料濾芯，具備高達 0.003 微米的過濾精度。這意味著它能夠捕獲極其細微的工藝懸浮顆粒，確保進入反應腔室的氣體達到超高純度標準。其內部流道經過精密計算與電解拋光處理，在保證大流量（500 SLPM）通過的同時，將壓力損失控制在較低水平，從而提升了整體系統的能源效率和工藝穩定性。
嚴苛的材質選擇與工藝
殼體由高等級 316L 不銹鋼精制而成，具備極強的化學兼容性和耐腐蝕性。針對半導體行業對金屬離子的極低容忍度，Entegris 在制造過程中執行了嚴格的清洗與封裝標準。KF25 接口設計使得該過濾器能夠方便地集成到現有的真空管路中，且具備極高的密封可靠性，泄漏率遠低于行業平均標準，有效保護了真空系統的完整性。
行業應用價值
在 CVD（化學氣相沉積）或 Etch（刻蝕）工藝中，反應氣體的純凈度直接關系到晶圓的良率。CE-500-KF-I-4-D 能夠平衡大流量與超細過濾之間的矛盾，尤其在腔室泄壓或充氣階段，它能緩沖氣流沖擊，平穩引入潔凈氣體，減少氣流紊亂帶起的二次粉塵。這種性能表現使其成為國際一線半導體機臺廠及先進邏輯/存儲芯片工廠的首選。
可靠性與長壽命設計
得益于 Entegris 先進的制造工藝，該過濾器具有極長的使用壽命和極低的維護頻率。其堅固的結構設計使其能夠承受頻繁的熱循環與壓力沖擊而不會產生結構性疲勞，為用戶降低了長期運營成本并減少了停機時間。
CE-200-KF-I-4-D,CE-300-KF-I-4-D,CE-1000-KF-I-4-D,CE-500-VCR-I-4-D,CE-500-NW-I-4-D,CE-200-VCR-I-4-D,CE-1000-VCR-I-4-D,CE-500-KF-I-2-D,CE-500-KF-I-6-D,CE-500-KF-M-4-D,CE-500-KF-N-4-D,CE-500-KF-P-4-D,CE-200-NW-I-2-C,CE-300-NW-I-4-C,CE-500-NW-I-6-C,CE-1000-NW-I-8-C,WGCP-01-KF-25,WGCP-02-KF-25,WGCP-01-VCR-4,WGCP-02-VCR-8,WGLP-400-4-VCR,WGLP-800-8-VCR,WGLP-1000-KF-25,WGLP-2000-KF-40,WGEP-100-4-VCR,WGEP-200-8-VCR,WGSP-01-VCR-4,WGSP-02-VCR-8,WGVP-01-KF-25,WGVP-02-KF-40,SS-100-VCR-4,SS-200-VCR-8,SS-500-KF-25,SS-1000-KF-40,NI-100-VCR-4,NI-200-VCR-8,NI-500-KF-25,NI-1000-KF-40,TE-100-VCR-4,TE-200-VCR-8,TE-500-KF-25,TE-1000-KF-40,CE-100-KF-I-2-B,CE-150-KF-I-4-B,CE-250-KF-I-4-C,CE-350-KF-I-6-C,CE-450-KF-I-8-D,CE-550-KF-I-4-D,CE-650-KF-I-6-D,CE-750-KF-I-8-D,CE-850-KF-I-10-D,CE-950-KF-I-12-D,CE-1100-KF-I-4-E,CE-1200-KF-I-6-E,CE-1300-KF-I-8-E,CE-1400-KF-I-10-E,CE-1500-KF-I-12-E,CE-100-VCR-M-2-A,CE-200-VCR-M-4-A,CE-300-VCR-M-6-A,CE-400-VCR-M-8-A,CE-500-VCR-M-10-A,CE-600-VCR-M-4-B,CE-700-VCR-M-6-B,CE-800-VCR-M-8-B,CE-900-VCR-M-10-B,CE-1000-VCR-M-12-B,CE-200-NW-P-2-A,CE-300-NW-P-4-A,CE-400-NW-P-6-A,CE-500-NW-P-8-A,CE-600-NW-P-10-A,CE-700-NW-P-4-B,CE-800-NW-P-6-B,CE-900-NW-P-8-B,CE-1000-NW-P-10-B,CE-1100-NW-P-12-B,CE-100-KF-N-2-A,CE-200-KF-N-4-A,CE-300-KF-N-6-A,CE-400-KF-N-8-A,CE-500-KF-N-10-A,CE-600-KF-N-4-B,CE-700-KF-N-6-B,CE-800-KF-N-8-B,CE-900-KF-N-10-B,CE-1000-KF-N-12-B,CE-200-VCR-I-2-A,CE-300-VCR-I-4-A,CE-400-VCR-I-6-A,CE-500-VCR-I-8-A,CE-600-VCR-I-10-A,CE-700-VCR-I-4-B,CE-800-VCR-I-6-B,CE-900-VCR-I-8-B,CE-1000-VCR-I-10-B,CE-1100-VCR-I-12-B,CE-100-NW-M-2-A,CE-200-NW-M-4-A,CE-300-NW-M-6-A,CE-400-NW-M-8-A,CE-500-NW-M-10-A,CE-600-NW-M-4-B,CE-700-NW-M-6-B,CE-800-NW-M-8-B,CE-900-NW-M-10-B,CE-1000-NW-M-12-B,CE-200-KF-P-2-A,CE-300-KF-P-4-A,CE-400-KF-P-6-A,CE-500-KF-P-8-A,CE-600-KF-P-10-A,CE-700-KF-P-4-B,CE-800-KF-P-6-B,CE-900-KF-P-8-B,CE-1000-KF-P-10-B,CE-1100-KF-P-12-B,CE-100-VCR-N-2-A,CE-200-VCR-N-4-A,CE-300-VCR-N-6-A,CE-400-VCR-N-8-A,CE-500-VCR-N-10-A,CE-600-VCR-N-4-B,CE-700-VCR-N-6-B,CE-800-VCR-N-8-B,CE-900-VCR-N-10-B,CE-1000-VCR-N-12-B,CE-200-NW-I-2-E,CE-300-NW-I-4-E,CE-400-NW-I-6-E,CE-500-NW-I-8-E,CE-600-NW-I-10-E,CE-700-NW-I-4-F,CE-800-NW-I-6-F,CE-900-NW-I-8-F,CE-1000-NW-I-10-F,CE-1100-NW-I-12-F,CE-200-KF-M-2-E,CE-300-KF-M-4-E,CE-400-KF-M-6-E,CE-500-KF-M-8-E,CE-600-KF-M-10-E,CE-700-KF-M-4-F,CE-800-KF-M-6-F,CE-900-KF-M-8-F,CE-1000-KF-M-10-F,CE-1100-KF-M-12-F,CE-200-VCR-P-2-E,CE-300-VCR-P-4-E,CE-400-VCR-P-6-E,CE-500-VCR-P-8-E,CE-600-VCR-P-10-E,CE-700-VCR-P-4-F,CE-800-VCR-P-6-F,CE-900-VCR-P-8-F,CE-1000-VCR-P-10-F,CE-1100-VCR-P-12-F,CE-200-NW-N-2-E,CE-300-NW-N-4-E,CE-400-NW-N-6-E,CE-500-NW-N-8-E,CE-600-NW-N-10-E,CE-700-NW-N-4-F,CE-800-NW-N-6-F,CE-900-NW-N-8-F,CE-1000-NW-N-10-F,CE-1100-NW-N-12-F,CE-200-KF-I-2-H,CE-300-KF-I-4-H,CE-400-KF-I-6-H,CE-500-KF-I-8-H,CE-600-KF-I-10-H,CE-700-KF-I-4-J,CE-800-KF-I-6-J,CE-900-KF-I-8-J,CE-1000-KF-I-10-J,CE-1100-KF-I-12-J,CE-200-VCR-M-2-H,CE-300-VCR-M-4-H,CE-400-VCR-M-6-H,CE-500-VCR-M-8-H,CE-600-VCR-M-10-H,CE-700-VCR-M-4-J,CE-800-VCR-M-6-J,CE-900-VCR-M-8-J,CE-1000-VCR-M-10-J,CE-1100-VCR-M-12-J,CE-200-NW-P-2-H,CE-300-NW-P-4-H,CE-400-NW-P-6-H,CE-500-NW-P-8-H,CE-600-NW-P-10-H,CE-700-NW-P-4-J,CE-800-NW-P-6-J,CE-900-NW-P-8-J,CE-1000-NW-P-10-J,CE-1100-NW-P-12-J