品牌：Entegris (英特格)
型號(hào)：SVTH01TQ1
產(chǎn)品系列：Torrento? T-Line
濾膜材質(zhì)：聚四氟乙烯 (PTFE)
支撐/外殼材質(zhì)：PFA (全氟烷氧基樹脂)
過濾精度：10 nm (納米級(jí))
接口規(guī)格：1" Pillar? Super 300 接口
最大工作溫度：180°C (356°F)
最大工作壓力：0.39 MPa @ 25°C
重量：約 1.2kg
適用流體：硫酸、雙氧水、氫氧化銨、去離子水及各種高純化學(xué)試劑。
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Entegris SVTH01TQ1 屬于享譽(yù)半導(dǎo)體行業(yè)的 Torrento? 系列高效過濾器，是專為尖端制程中的濕法清洗（Wet Cleaning）及蝕刻（Etching）工藝量身打造的過濾解決方案。隨著半導(dǎo)體節(jié)點(diǎn)向 7nm、5nm 甚至更先進(jìn)制程演進(jìn)，化學(xué)品中的微小顆粒污染物已成為影響晶圓良率的關(guān)鍵因素，SVTH01TQ1 正是應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn)的核心組件。
技術(shù)性能深度解析：
該過濾器采用全氟化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，其濾膜由高純度 PTFE（聚四氟乙烯）制成，外殼及支撐結(jié)構(gòu)則采用 PFA 材質(zhì)。這種全氟代材料組合賦予了 SVTH01TQ1 卓越的化學(xué)兼容性，能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行在極具腐蝕性的酸性或堿性環(huán)境中，如 SPM（硫酸過氧化氫混合液）、SC1、SC2 等清洗液。其 10nm 的超高過濾精度，能夠有效截留流體中的超細(xì)微顆粒，確保進(jìn)入工藝槽的化學(xué)品達(dá)到極高的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。
行業(yè)應(yīng)用優(yōu)勢(shì)：
極低的萃取物水平：Entegris 采用嚴(yán)苛的制造工藝和預(yù)清洗流程，確保過濾器在使用初期即可達(dá)到極低的離子釋放水平，縮短了設(shè)備的預(yù)沖洗時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。
耐高溫設(shè)計(jì)：SVTH01TQ1 能夠在高達(dá) 180°C 的高溫化學(xué)品中保持結(jié)構(gòu)完整性和過濾效率，這在高溫蝕刻工藝中至關(guān)重要。
大流量與低壓降：優(yōu)化的濾芯褶皺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在保證納米級(jí)攔截效率的同時(shí)，提供了理想的流量特性，減少了系統(tǒng)泵送系統(tǒng)的負(fù)擔(dān)。
高可靠性接口：配備的 1" Pillar? Super 300 接口確保了在復(fù)雜管路系統(tǒng)中的連接安全性，有效防止化學(xué)品滲漏風(fēng)險(xiǎn)。
行業(yè)推薦理由：
在半導(dǎo)體前道工序（FEOL）中，SVTH01TQ1 是保證晶圓表面潔凈度的重要屏障。其優(yōu)異的非脫落特性和機(jī)械強(qiáng)度，使其在頻繁的壓力波動(dòng)下依然能維持穩(wěn)定的過濾性能。對(duì)于追求極致良率和設(shè)備穩(wěn)定性的半導(dǎo)體廠商而言，該型號(hào)是替代傳統(tǒng)過濾器的理想之選。
SVTH01TQ1 SVTH01TQ2 SVTH01TQ3 SVTH01TQ4 SVTH01TQ5 SVTH01TQ6 SVTH02TQ1 SVTH02TQ2 SVTH02TQ3 SVTH02TQ4 SVTH02TQ5 SVTH02TQ6 SVTH03TQ1 SVTH03TQ2 SVTH03TQ3 SVTH03TQ4 SVTH03TQ5 SVTH03TQ6 SVTH11TQ1 SVTH11TQ2 SVTH11TQ3 SVTH11TQ4 SVTH11TQ5 SVTH11TQ6 SVTH12TQ1 SVTH12TQ2 SVTH12TQ3 SVTH12TQ4 SVTH12TQ5 SVTH12TQ6 SVTH21TQ1 SVTH21TQ2 SVTH21TQ3 SVTH21TQ4 SVTH21TQ5 SVTH21TQ6 SVTH22TQ1 SVTH22TQ2 SVTH22TQ3 SVTH22TQ4 SVTH22TQ5 SVTH22TQ6 SVTH31TQ1 SVTH31TQ2 SVTH31TQ3 SVTH31TQ4 SVTH31TQ5 SVTH31TQ6 SVTH32TQ1 SVTH32TQ2 SVTH32TQ3 SVTH32TQ4 SVTH32TQ5 SVTH32TQ6 SVTL01TQ1 SVTL01TQ2 SVTL01TQ3 SVTL01TQ4 SVTL01TQ5 SVTL01TQ6 SVTL02TQ1 SVTL02TQ2 SVTL02TQ3 SVTL02TQ4 SVTL02TQ5 SVTL02TQ6 SVTL11TQ1 SVTL11TQ2 SVTL11TQ3 SVTL11TQ4 SVTL11TQ5 SVTL11TQ6 SVTL12TQ1 SVTL12TQ2 SVTL12TQ3 SVTL12TQ4 SVTL12TQ5 SVTL12TQ6 SVTM01TQ1 SVTM01TQ2 SVTM01TQ3 SVTM01TQ4 SVTM01TQ5 SVTM01TQ6 SVTM02TQ1 SVTM02TQ2 SVTM02TQ3 SVTM02TQ4 SVTM02TQ5 SVTM02TQ6 SVTM11TQ1 SVTM11TQ2 SVTM11TQ3 SVTM11TQ4 SVTM11TQ5 SVTM11TQ6 SVTM12TQ1 SVTM12TQ2 SVTM12TQ3 SVTM12TQ4 SVTM12TQ5 SVTM12TQ6 SVTH01MQ1 SVTH01MQ2 SVTH01MQ3 SVTH02MQ1 SVTH02MQ2 SVTH02MQ3 SVTH11MQ1 SVTH11MQ2 SVTH11MQ3 SVTH12MQ1 SVTH12MQ2 SVTH12MQ3 SVTL01MQ1 SVTL01MQ2 SVTL01MQ3 SVTL11MQ1 SVTL11MQ2 SVTL11MQ3 SVTM01MQ1 SVTM01MQ2 SVTM01MQ3 SVTM11MQ1 SVTM11MQ2 SVTM11MQ3 SVTH01AQ1 SVTH01AQ2 SVTH02AQ1 SVTH02AQ2 SVTH11AQ1 SVTH11AQ2 SVTH12AQ1 SVTH12AQ2 SVTL01AQ1 SVTL01AQ2 SVTL11AQ1 SVTL11AQ2 SVTM01AQ1 SVTM01AQ2 SVTM11AQ1 SVTM11AQ2 SVTH01PQ1 SVTH01PQ2 SVTH02PQ1 SVTH02PQ2 SVTH11PQ1 SVTH11PQ2 SVTH12PQ1 SVTH12PQ2 SVTL01PQ1 SVTL01PQ2 SVTL11PQ1 SVTL11PQ2 SVTM01PQ1 SVTM01PQ2 SVTM11PQ1 SVTM11PQ2 SVTH01FQ1 SVTH01FQ2 SVTH02FQ1 SVTH02FQ2 SVTH11FQ1 SVTH11FQ2 SVTH12FQ1 SVTH12FQ2 SVTL01FQ1 SVTL01FQ2 SVTL11FQ1 SVTL11FQ2 SVTM01FQ1 SVTM01FQ2 SVTM11FQ1 SVTM11FQ2 SVTH01GQ1 SVTH01GQ2 SVTH02GQ1 SVTH02GQ2 SVTH11GQ1 SVTH11GQ2 SVTH12GQ1 SVTH12GQ2 SVTL01GQ1 SVTL01GQ2 SVTL11GQ1 SVTL11GQ2 SVTM01GQ1 SVTM01GQ2 SVTM11GQ1 SVTM11GQ2