AX7610 是用于遠(yuǎn)程等離子體應(yīng)用的微波等離子體源。AX7610 下游源具有可更換的石英或藍(lán)寶石等離子管，可提供配置靈活性以滿足最苛刻的應(yīng)用工藝參數(shù)。石英管版本非常適合生產(chǎn)原子氧、氮或氬。藍(lán)寶石管版本與更嚴(yán)格的 CF?4?CHF?3和 NF?3?化學(xué)物質(zhì)兼容。
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- 用于氟和非氟化學(xué)品的藍(lán)寶石或石英放電管
- 具有高功率和吞吐量的專利傳導(dǎo)冷卻設(shè)計(jì)
- 易于集成
- 適用范圍廣